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工业型游戏娱乐网站

FM-NanoviewLS-AFM

产品优势

◆ 国内首先实现样品保持不动,探针移动扫描的游戏娱乐网站;

◆ 国内首先采用闭环三轴独立压电平移式扫描器,大范围高精度扫描;

◆ 样品尺寸、重量基本不受限制,特别适合集成电路晶圆等超大样品检测;

◆ 龙门架式扫描头设计,大理石底座,真空吸附式载物台;

◆ 大行程二维电动样品移动台,快速选择感兴趣的样品区域;

◆ 高倍光学定位系统,实现探针和样品扫描区域精确定位;

◆ 简易的激光光斑调节方式,可通过光学CCD窗口实时观测及调节光斑;

◆ 单轴驱动扫描头自动垂直接近样品,准确定位扫描区域,针尖垂直于样品扫描;

◆ 马达控制加压电陶瓷自动探测的智能进针方式,保护探针及样品;

◆ 配备封闭式金属屏蔽罩,气动式减震台,抗干扰能力强,不影响仪器使用操作;

◆ 集成扫描器硬件非线性校正用户编辑器,纳米表征和测量精度优于98%。


技术参数


◆ 基本工作模式:接触、轻敲、F-Z力曲线测量、RMS-Z曲线测量、摩擦力/侧向力、振幅/相位、磁力和静电力
◆ 选配工作模式:Profile线快速测量模式
◆ 最大样品尺寸:Φ≥300mm,H≥50mm
◆ 闭环扫描范围:XY向100um,Z向10um
◆ 闭环扫描分辨率:XY向0.2nm,Z向0.05nm
◆ 样品移动范围:300mm×300mm
◆ 辅助光学定位:10X物镜,光学分辨率1um(可选配20X,光学分辨率0.8um)
◆ 气动式减震台,减震频率0.5Hz
◆ 噪音水平:<0.1nm
◆ 扫描速率0.6Hz~4.34Hz,扫描角度0~360°
◆ 扫描控制:XY采用18-bit D/A,Z采用16-bit D/A
◆ 数据采样:14-bit A/D、双16-bit A/D多路同步采样
◆ 反馈方式:DSP数字反馈
◆ 反馈采样速率:64.0KHz
◆ 通信接口:USB2.0/3.0
◆ 运行环境:WindowsXP/7/8/10操作系统

应用范围

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