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组合式扫描游戏娱乐网站(闭环扫描台)

FM-Nanoview LSCL-AFM

◆ 国内首先实现探针和样品组合式移动扫描的▓商业化游戏娱乐网站;

◆ 国内首先采用三轴独立闭环压电平移式扫描台,实现大范围高精度扫描;

◆ 三轴独立式扫描,XYZ互不影响,非常适合三维材料及形貌检测;

◆ 电动控制样品移动台和升降台,可任意编程多点位置实现快速自动化检测;

◆ 龙门架式扫描头设计,大理石底座,真空吸附和磁性吸附式载物台;
◆ 马达自动控制加压电陶瓷自动探测的▓智能进针方式,保护探针及样品;
◆ 高倍辅助光学显微定位,实时观测与定位探针以及样品扫描区域;

◆ 闭环压电扫描台无需非线性校正,纳米表征和测量精度优于99.5%。


基本工作模式

接触、轻敲、摩擦力、侧向力、相位、磁力/静电力、F-Z力曲线、RMS-Z曲线

XY扫描方式

样品驱动式扫描,闭环压电平移式扫描台

Z扫描方式

探针驱动式扫描

XY扫描范围

闭环100×100um(可选30×30um)

Z扫描范围

2.5um(可选5um)

扫描分辨率

闭环XY向0.5nm,Z向0.05nm

XY样品台

步进电机驱动控制,移动精度1um

XY移动行程

100×100mm(可选200×200mm,300×300mm)

XY载物台

直径100mm(可选200mm,300mm)

最大样品重量

<0.5Kg

Z升降台

步进电机驱动控制,最小步长50nm

Z升降行程

15mm(可选20mm,25mm)

光学显微装置

5X光学物镜(可选10X/20X光学物镜)

摄像头

500万像素数字CCD

控制系统

DSP数字反馈控制器

App系统

信号采集及控制App1套、图像处理及分析App1套

通信接口

USB2.0/3.0

运行环境

Windows XP/7/8/10操作系统

仪器结构

龙门架式扫描头,大理石底座

仪器减震方式

弹簧悬挂式减震(可选气浮式减震台,主动式减震台)

电脑配置

27寸显示器、8G内存、i5处理器、固态硬盘

附件工具包

标准定标光栅1个、工具镊子1套、说明书、AppU盘

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